Что такое цирконий для циркониевых мишеней для распыления?
Цирконий – твердый, блестящий, серебристый металлический материал. Его извлекают из руд (оксидов или циркона, ZrSiO4), переводят в тетрагалогениды, а затем восстанавливают магнием. Металлический цирконий чрезвычайно устойчив к коррозии, поскольку на поверхности образуется устойчивая пленка оксида циркония и он устойчив к кислотам (кроме HF) и щелочам.
Благодаря своей превосходной коррозионной стойкости цирконий широко используется в химической промышленности, где существуют агрессивные условия. Кроме того, благодаря своим превосходным высокотемпературным свойствам в сочетании с низкой скоростью поглощения нейтронов его используют при строительстве ядерных реакторов. Чистый металлический цирконий также используется в качестве футеровки реактивных двигателей. Цирконий используется в качестве легирующего элемента, и полученный сплав имеет улучшенные механические свойства. При использовании в качестве материала мишени для распыления цирконий можно наносить методом распыления на подложку мишени с образованием тонкой пленки металлического циркония. ZhenAn производит и поставляет стандартные и индивидуальные мишени для распыления металлического циркония. Доступные марки металлического циркония включают марку 702 и марку 99,95% с низким содержанием Hf (<100 ppm).
