Описание продуктов
Самостоятельный метод для изготовления Силиконовый металл 553 iS используется для формирования структуры затвора и области источника/слива на подложке в последовательности. После этого стадия ионной имплантации выполняется в имплантационные ионы металлов на поверхности структуры затвора и поверхности области источника/слива. Затем, два процесса термообработки проводится для силицификации ионов металлов и кремния на поверхности структуры затвора и поверхности области источника/слива и образуют высокопрофессиональный слой силицидов на поверхности структуры затвора и Поверхность исходной/сливной области. Среди них ионами металлов могут быть кобальтом, титаном, никелем, платиной или палладием.
Параметры продуктов
|
Оценка |
Химический состав % | |||
| Содержание SI (%) | Примеси (%) | |||
| Фей | Ал | Калифорнийский | ||
| Силиконовый металл 553 | 98.7 | 0.5 | 0.5 | 0.3 |
Продукты сотрудничества картинки

1.Метод удаления бора вСиликоновый металл 553в трансферте. Он включает в себя: во -первых, уменьшенный жидкий кремниевый металл в погруженной печи переносится на переводчик; Затем предварительно разогретый смешанный газ взорван в жидкий кремниевый металл от нижней части переноса, а смешанный газ состоит из высокочистого кислорода, водяного пара, аргона; После полного удаления реакции и примесей жидкий кремниевый металл вытекает из нижней части переноса и отличается для получения кремниевого металла с высокой чистотой. Настоящее изобретение выдувает высокомерный кислород, водяной пара и аргона, смешанный газ с нижней части переноса в кремниевый металл в расплавленном состоянии путем предварительного нагревания кислорода с высокой точностью при высокой температуре и эффект удаления бора и фосфора Примеси очевидны, а другая часть примесей окисляется, чтобы генерировать простое в игре вещество, которое будет увлечено газом или плаванием на поверхности Жидкий кремниевый металл, так что примеси в кремниевом металле значительно снижаются. По сравнению с другими методами удаления бора, эта технология имеет очевидные экономические преимущества, которые могут значительно снизить потребление энергии, сократить процесс удаления примесей и реализовать промышленное производство недорогих и высокомерных кремниевых металлов.
горячая этикетка : Металлический металлический металл 553, китайский металлический кремниевый металл 553 Производители, поставщики, поставщики, поставщики, фабрика

