Материал высокого уровня нитрид кремния

В удаленных условиях кремниевый порошок может быть полностью нетронут в процессе SHS для генерацииСиликоновый нитриди продукт имеет высокое содержание азота и низкое содержание кислорода, но это фаза. В реакции кремния FUME SHS необходимо добавить подходящее количество si _3 n _4; Скорость распространения волны сжигания SHS кремния увеличивается с увеличением давления азота и уменьшением плотности заполнения реагента, но она не зависит от состава реагента и диаметра образца. Температура волны сгорания увеличивалась с увеличением давления азота и увеличением диаметра образца, что не зависит от состава реагентов и плотности заполнения.

1.Силиконовый нитридПленки готовили с использованием технологии осаждения в плазме химического паров (PECVD) в различных условиях осаждения (диапазон температуры субстрата 20 ~ 180 градусов и мощность RF 10 ~ 30 Вт), а также было изучено влияние условий осаждения на свойства и водонепроницаемые свойства пленок нитридов кремния. Результаты эксперимента показывают, что с повышением температуры субстрата, плотность, показатель преломления и отношение Si/N кремниевых пленок нитридного возраста увеличивается соответственно, в то время как скорость осаждения и содержание H уменьшаются соответственно. При увеличении мощности радиочастота скорость осаждения, плотность, показатель преломления и отношение Si/N нитридов кремния соответственно увеличивается, в то время как содержание H уменьшается соответственно. Эксперимент по проникновению водяного пара показывает, что даже если температура субстрата снижается до 50 градусов, нанесенная нитридная пленка кремния все еще имеет хорошие водонепроницаемые характеристики. Результаты эксперимента показывают, что низкотемпературные нитридные пленки кремния могут эффективно применять для упаковки органических светодиодных устройств (OLED).

горячая этикетка : Материал высокого уровня нитрид кремния, Китай высокий уровень материалов. Производители нитрида кремния, поставщики, фабрика